B体育 国内首台12英寸卧式炉建设见效发货

跟着半导体产业对12英寸晶圆需求的快速增长，中枢热经管建设自主发展已成为维持半导体先进制程高质料发展的要津之一。近日，电科装备旗下中电科红太阳光电公司迎来产业化发展新遵守，国内首台12英寸卧式炉建设顺利发往客户现场。该建设的见效研制，象征着国产半导体卧式热经管建设在先进制程界限获得迫切冲破，为半导体产业链供应链韧性和安全水平提供强力支捏。

本次发货的12英寸卧式炉建设精确对标行业先进制程发展趋势，直击行业痛点，滚球(中国)官网app重心攻克了卧式炉温场均匀性、流场均匀性、自动化示寂袭颗粒示寂等手艺卡点，全面知足了专用卧式炉建设大尺寸晶圆经管、优异温度均匀性及高启动相识性等产线要津性能条目。同期，B体育(BSports)该建设领先完结与客户端天车（OHT/AGV）系统的自动化对接，适配半导体界限要津热经管工艺，灵验完成建设自动化集成，要津手艺决策达国外先进水平，切实保险了大尺寸晶圆高质料坐褥制造智力。

昔时，电科装备将坚捏“产业强企”发展计策，汇注上风资源攻坚行业要津中枢手艺，以硬核科技实力护航产业发展，为栽植国度计策科技力量、完结高水平科技自立自立筑牢原始改进根基。

（光明日报全媒体记者崔兴毅）B体育

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